消息面上,据DIGITIMES资讯显示,SK海力士2023年引进日本光学设备厂佳能纳米压印微影(Nano Imprint Lithography;NIL)生产设备,正在进行测试与研发,目标在2025年左右将该设备用于3D NAND量产。
西部证券单慧伟5月25日研报中表示,纳米压印是表面浮雕光波导技术的其中一环,采用表面浮雕光栅替代传统折反射光学元件可实现二维扩瞳,扩大眼动范围,生产制造难度也相对较低。
东北证券李玖9月5日研报中指出,纳米光刻设备和纳米压印设备独具优势,将推动波导镜片产业化。
据公开资料显示,纳米压印技术,即NanoimprintLithography(NIL),是一种新型的微纳加工技术。该技术将设计并制作在模板上的微小图形,通过压印等技术转移到涂有高分子材料的硅基板上。纳米压印的分辨率由所用印模板图形的大小决定,物理上没有光刻中的衍射限制,纳米压印技术可以实现纳米级线宽的图形。
根据财联社不完全整理,近期在互动易平台回复纳米压印相关业务的上市公司包括美迪凯、利和兴、水晶光电、汇创达、苏大维格、歌尔股份等,具体情况如下:
此外,奥比中光已完成衍射光波导全光学系统的功能设计与仿真,并探索纳米压印技术中清洗、匀胶、增粘、烘胶、压印和脱模等工艺;腾景科技准备成立南京分公司,进行衍射光波导纳米压印产品开发(衍射光波导涉及表面浮雕光波导和全息体光栅波导)。2023年上半年,公司新增纳米压印衍射波导片项目。
炬光科技7月4日发布投资者关系活动记录表公告表示,公司目前已布局的光学加工工艺包括晶圆级同步结构化技术、精密模压、冷加工、注塑、纳米压印等,得以覆盖无机材料、有机高分子材料等各类微光学元器件的加工制备。